衢州真空规 347 Stabil-Ion 宝应真空计

BAG402 中到**高真空真空计
INFICON 单 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402 涵盖从 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）的广泛测量范围。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装，在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。特的双丝较结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。
GP500冷阴极真空计采用了和现代设计技术，在宽压力范围内提供高可靠性和**命的真空测量。模块化设计将仪表和控制电路集成在一个紧凑的模块中。

通过降低点火后的 HT 电压以及采用低放电电流，延长了维修间隔和真空计寿命
结构较为紧凑，采用凹进式电气接头
易于维修；皮拉尼和磁控管元件均可以单更换
综合性故障模式诊断装置

INFICON反磁控管皮拉尼复合真空计，MPG400 和 MPG401，测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力（3.8 x 10-9 Torr 至大气压力）。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中，显著降低了安装、设置和集成的复杂性。

特点
性能优越，优良的零稳定性和准确性
集成的双设定值增强控制
紧凑型到加热型，应有尽有
低拥有成本
零维护
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
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