比重0.86
用途管道泵
输送介质油泵
实际价格来电面议
性能自动
ULVAC油旋片泵维修
VD系列：VD151、VD201、VD301、VD401、VD601、VD901、VD30C、VD40C、VD60C、VD90C
VDN系列：VDN-301、VDN-401、VDN 601、VDN602、VDN902
VS系列：VS650A-A、VS650A-W、VS750A-A、VS750A-W、VS1501、VS2401
VSN系列：VSN1501、VSN2401
PVD系列：PVD-180(B)、PVD-360(B)
PKS系列：PKS-016、PKS-030、PKS-070
EC系列：EC-403、EC603、EC-803
GHD系列：GHD 030、GHD-031、GHD-100、GHD-031B
GLD系列：GLD-N201、GLD-136C、GLD-N051、GLD-136A、GLD- N280、GLD040
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体（CVD、刻蚀等）。
• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
ULVAC罗茨泵维修
PMB系列：PMB100D、PMB300D、PMB600D、PMB1200D、PMB2400D
PRC系列：PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A、PRC-018A
PMB-C系列：PMB-040C、PMB-060C
提供全国范围内的ULVAC爱发科罗茨泵维修保养,以下为我公司维修过的型号:
NB系列罗茨泵：
NB100B
NB300B
NB600B
NB1200B
NB2400B
PRC-A/PMB-C(M) SERIES罗茨泵：
PMB1200D
PMB100D
PMB100DT
PMB300D
PMB300DT
PMB600D
PMB600DT
PMB1200D
PMB1200DT
MBS SERIES罗茨泵：
MBS-052
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