文山真空规

宽范围真空计
 INFICON 大量空计设计紧凑，具有的性和可靠性。四种物理技术包含了从**高真空度到大气压的完整真空范围。
通过 INFICON 皮拉尼技术，可在低和中真空范围实现经济实惠的测量。INFICON 微型电容膜片技术可在低真空范围实现测量，而**高和高真空范围则是热或冷电离技术的用武之地。
每种测量技术都可用于立传感器或与互补测量技术结合，以在整个真空范围内获得性价比。
具有标准供电要求和输出电压的有源真空计范围的一部分，允许简单集成到使用有源皮拉尼真空计、热电偶真空计、倒磁控管真空计、应变真空计、宽量空计和电离真空计的系统中。所有这些均与 TIC 仪器控制器、多管路数字显示屏和控制器兼容

特点
全量程的压力测量
包含允许完全控制/监视/修改的软件包
可烘烤至180°C
模拟和RS485输出在同时支持
LED状态灯指标
2个可调设定值

冷阴极技术
冷阴极技术传统上比热阴极提供更长的寿命，因为没有灯丝烧毁。GP 500系列冷阴极压力计(CCG)基于创新的技术和经过时间考验的校准技术，定义了一个新的精度标准。此外，从来没有一个好方法来确定什么时候冷阴极压力表磨损到精度明显下降的程度。通过一种新的正在申请的方法来确定随时间变化的压力量，并将其与用户选择的环境因素相结合， GP500提供了仪表何时需要维修或更换的指示信号。

ATC热电偶真空计
Edwards ATC系列热电偶 (ATC-E) 真空计可直接安装在 ATC-D 或 ATC-M 热电偶管上，形成紧凑、立的传感器。
ATC-E 电子模块既能驱动中压压力计管件，也能驱动低压压力计管件。这些真空计为更高的压力提供了经济的测量解决方案
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要**2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程皮拉尼的之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到**高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉
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