比重0.86
用途管道泵
输送介质油泵
实际价格来电面议
性能自动
ULVAC涡旋泵维修
DIS/DISL系列：DIS-90、DIS-251、DIS-501、DISL-101、DISL-502
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体（CVD、刻蚀等）。
• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
NB100B-NB1200B罗茨式真空泵
特长
洁净的真空
腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运作
选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运作。
用途
• 照明、电子、光学、半导体。
• 镀膜、溅射、离子镀、液晶注入。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
• 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。
• 分析仪器、检漏设备、CO2激光设备。
ULVAC干泵维修
LR系列：LR60、LR90、LR180、LR421、LR421-T、LR300、LR600、LR1200、LR1800、LR3601、LR3601-TT、LR3601-TTR
HR系列：HR60、HR90、HR300、HR600、HR1200
UR系列：UR90、UR421-T、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT
CR系列：CR16B、CR30B、CR60B、CR300B
GR系列：GR60A、GR90A、GR180A
PDR-C系列：PDR-012、PDR-060C、PDR-090CH、PDR-090CHN、PDR-090CLN、PDR-180CN、PDR-180C
VPT系列：VPT-030、VPT-6000
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