精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
Gemini™ MxG5xx 大气压至**高真空真空计
INFICON Gemini™ 倒置磁控管真空计是所有真空测量应用（申请中）的动力源泉。Gemini将两个传感器系统整合在一个小装置中，测量范围从大气压至 1x10 – 9 毫巴。获得的杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护，这使使Gemini成为同类产品中坚稳和经济的真空计。
Gemini冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备，使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。
GP500冷阴极真空计采用了和现代设计技术，在宽压力范围内提供高可靠性和**命的真空测量。模块化设计将仪表和控制电路集成在一个紧凑的模块中。
Edwards Barocel 7000系列是目前的真空压力表产品，根据客户的需要，我们提供了更的测量和控制系统。有了环境和加热产品，可以提供的性能和可靠性。
Barocel 7000系列主要有这几款型号：7025M、7025和7045、7100。可在1000至0.1 mbar/Torr(7025M型仅支持1000至10Torr量程)的全压力范围内使用，并有多个法兰选项。这使压力测量和控制**过7个数量级，满足您系统精密测量和控制的要求。
Bayard Alpert热阴极离子真空规
INFICON Bayard-Alpert热阴极离子真空规BAG050、BAG051、BAG052和BAG053，灯丝组件由钇丝-涂层铱和钨丝两种选择，与Inficon VGC083一起使用；也可兼容其他厂商同类型控制器一起使用。
宽范围的真空测量，可测量2 × 10E-11Torr
成本经济、性价比高
工业标准电极电压和宽范围的发射电流：10uA至10mA
真空行业众所周知的特性特点
离子收集较良好的漏电屏蔽
耐烧型灯丝和真空行业标准接口
所有产品都可以进行EB除气，一些产品还能进行焦耳除气
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
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