TRIVACD8C
SOGEVACSV100B
罗茨泵WAU1001
干泵DV650
扩散泵DIP 80000
涡旋泵SC60D
型号70WHU2500
分子泵TURBOVAC 90i
低温泵COOLVAC 1500
DIP
油扩散泵
DIP 油扩散泵是不带任何旋转部件的高真空泵,此类流体夹带泵的工作原理是基于蒸汽射流的传输能力。与其它高真空泵相比,扩散泵的抽速非常大,DIP系列扩散泵抽速为3000-50000 l/s。LEYBOJET集成了额外喷射级,以实现中真空范围内大的气载和稳定抽速。
德国莱宝DIP 20.000 油扩散真空泵维修
莱宝DIP20000油扩散泵主要技术参数:
抽速:20 000L/S
极限全压强:< 5.0 x 10-7mbar
蒸汽流真空泵的工作原理
扩散泵的运行倚赖于泵油蒸汽,其主要部件有:
- 含有进气口和排气口的冷却泵体
- 喷嘴系统
- 泵油锅
扩散泵工作时,油锅内泵油被加热至气化,油蒸汽被强迫通过泵内喷嘴系统。喷嘴的特殊设计能将蒸汽加速至大于音速(拉瓦尔喷嘴),于是形成高速蒸汽喷射流,并被喷嘴以特定角度喷向泵体。蒸汽接触冷泵体后,冷凝成液态泵油流回油锅。扩散泵和其它类型的蒸汽流真空泵的抽气能力主要基于蒸汽喷射流对气体的传输能力。被抽气体在排气口被充分压缩后由前级泵抽出。
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油扩散泵
与其它的类型的蒸汽流真空泵相比,油锅内和蒸汽射流中的蒸汽密度是相当低的,因此气体分子几乎可以全部扩散进入蒸汽射流中,而其中的绝大部分分子会被抽出。
扩散泵的抽速(与进气口面积相关)高而恒定, 在进气压强约为10-3mbar(0.75×10-3Torr)至很低压强范围内,蒸汽射流不受真空室内压强变化的影响。
油扩散泵的工作
前级真空
在任何情况下,扩散泵都需配足够大小的前级泵(见技术数据),前级真空泵的规格和类型取决于工作条件和所抽气体量。
1.在10-4 mbar(0.75 x 10-4托)以上连续工作 — 抽大量气体。
2.在10-4 mbar(0.75 x 10-4托)以下连续工作 — 抽较少量气体。
使用扩散泵时,真空室必须通过阀(3)和粗抽线直接连到前级泵。先用前级泵
将真空室抽低至扩散泵能正常切入的压强,如扩散泵已准备完毕,可打开高真
空阀(4)开始。真空室破**,必须关闭前级真空阀(2)和高真空阀(4),扩散泵维持在备用状态。
抽速
任何一种泵的抽速都是指通过泵吸入口的体积流量。对于扩散泵来说对轻气体抽速比重气体抽速大。
泵油返流
某些油分子脱离蒸汽喷射流且未能被冷却的泵体捕集时,就可能发生不希望的返流现象。油分子之间的碰撞和泵体的反射,使其可能向真空室方向运动。
DIP扩散泵的返油率仅为每分钟每cm2进气口面积几μg,加水冷帽或冷阱捕集后,几乎可完全消除油返流。
扩散泵的返油率
- 无水冷帽和冷阱
约 1 x 10-2 mg x cm-2 x min-1
- 加有水冷帽
约 1 x 10-3 mg x cm-2 x min-1
- 加有冷阱
(T = 10 °C (50 °F))
约 1 x 10-5 mg x cm-2 x min-1
以上数据是在进口压强<1×10-4 mbar以及LVO500条件下测定的。
可达到的极限压强
真空系统可达到的极限压强不仅与扩散泵型号和额定抽速有关,还与泵油蒸汽压、冷阱的形状和温度、连接法兰或焊接点的泄漏以及真空室内表面状况有关。
在消除了因泄漏和腔体内壁脏造成的放气影响后,它将能达到“概述”一节所给“油扩散泵(DIP)可达到的极限压强”表中所述值。
实际上,以下组合对于实现无返油的高真空有很好的效果。
- 集成了水冷帽的扩散泵加配星形冷阱,水冷星形冷阱安装在扩散泵高真空法兰上。
密封方式
对10-8 mbar (0.75 x 10-8 Torr)的极限压强要求,烘烤温度150 °C (302 °F)已足够。须使用FPM ( FPM=氟橡胶,可耐150 °C (302 °F) 温度 ) 密封圈或铝制**级密封环。
为防止压强的变化,扩散泵与冷阱之间必须使用**级密封环。
低于10-8 mbar(0.75 x 10-8 Torr)的极限压强则要求烘烤温度高达400 °C ( 752 °F )。
实际上只须将真空室烘烤到400°C (752°F),而在冷阱上维持一个温度梯度,使泵入口法兰不**过150 °C (302 °F)。
在这种条件下,允许使用FPM密封环或铝制**级密封环。
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冷却
冷却进水温度不应**过25 °C (77 °F),出水不应大于30 °C (86 °F),否则不能保证泵油充分冷凝。当串联泵和冷阱的冷却水回路时,必须使冷却水首先流过冷阱然后再流过扩散泵,因为真空室可
达到的极限压强在很大程度上取决于冷阱上泵油的冷凝温度。
DIP系列泵是为工业系统使用而开发的。优秀的真空性能与这种泵固有的机械耐用性相结合,使莱宝的扩散泵成为高和中真空领域的可靠设备。
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工作原理
TRIVAC® C泵是油封旋片泵,驱动电机与泵主体直接用法兰连接,泵与电机的轴由弹性联轴器直接连接,在联轴器上装有风扇,通过冷却缝隙使联轴器周围即使在较端的条件下仍保持较低的温度,所有轴承均为油润滑的滑动轴承。
泵主体由用O 形圈密封的部件组装而成,所有部件均用定位销联接以便于拆卸,泵体很易卸下且不需要工具。
转子(1/2)偏心地装在泵体(1/1)内,由三个径向滑动的旋片(1/6)将泵腔分隔成数个空间,每个空间的容积随着转子的旋转而周期性地变化。
气体从进气口(1/7)被吸入,通过滤网(1/6)和开启的防返油阀(1/ 5)进入泵腔,在泵腔中,气体被传送,当入口处被旋片封闭后气体被传送和压缩,在(1/15 )处,油被吸入泵腔中;一方面,它起到泵壁与旋片端面间的密封与润滑作用,另一方面还起到旋片(1/16 )在转子(1/2) 中的密封与润滑作用。
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昆山熙日机械设备有限公司是一家专业经营真空泵,分子泵,真空机组,负压真空系统,进口真空泵润滑油,真空泵配件,真空泵维修的授权一级经销商,主要经营的品牌有LEYBOLD德国油封泵:双旋片泵TRIVAC B/C系列,单级旋片泵SOGEVAC B|BI|FP系列;莱宝干式真空泵:膜片泵DIVAC系列,涡旋泵SCROLLVAC系列,干式螺杆泵LEYVAC系列,干式螺杆泵SCREWLINE系列;罗茨泵:RUVAC WA/WS 和RUVACWH系列;莱宝高真空泵:莱宝油扩散泵系列、莱宝油增压泵系列、莱宝分子泵系列、莱宝低温泵系列;莱宝**高真空泵:莱宝离子泵;莱宝检漏和真空测量设备:PHOENIX4.0系列和PHOENIX L500全系列真空计和真空控制器;莱宝阀门和附件;莱宝真空泵润滑油:LVO130,LVO100,LVO108等真空泵及提供莱宝真空解决方案、真空系统真空产品。
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SP250悬臂式干式螺杆真空泵
莱宝SCREWLINE SP250 - SP630(F)干式螺杆真空泵是为满足工业应用的特殊要求而开发的。当需要可靠、紧凑、容易维护的真空解决方案用于高粉尘/水汽、定期需现场清洗时,采用创新设计的悬臂式SP系列干式螺杆真空泵成为首要之选。莱宝SCREWLINE SP系列特别适合有大量粉尘的应用场合!运行原理莱宝SCREWLINE螺杆真空泵属于干式压缩前级真空泵,其运行基于螺杆原理:两个同步旋转互相咬合的铝合金螺杆转子及其周围的壳体形成
莱宝SCREWLINE SP250 - SP630(F)干式螺杆真空泵是为满足工业应用的特殊要求而开发的。当需要可靠、紧凑、容易维护的真空解决方案用于高粉尘/水汽、定期需现场清洗时,采用创新设计的悬臂式SP系列干式螺杆真空泵成为首要之选。莱宝SCREWLINE SP系列特别适合有大量粉尘的应用场合!
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