旋片泵GLD051 GLD-N202
罗茨泵NB100B
过滤器TMN151
真空泵油R-4 R-7
真空计SW1-N1
VDN301 / VDN401 油旋片式真空泵
特长
实现了低噪音
由于彻底的低噪音设计和精密的加工，从而达到了低噪音化。
优秀的保养、维修性能
因为能在真空泵与其他设备的连接管道不拆除的情况下，将泵的主体部分取下，所以清洗保养及油封等的更换变的非常容易。为使日常保养工作方便容易，油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为延长使用油的补充期，采用了1.0～2.5升可变油量方式。
能对应全压强领域的连续运转
采用高吸气压强也能稳定运转的强制供油方式。选用油雾过滤器、油回收装置及耐热密封件后，就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
用途
• 镀膜、溅射、离子镀。
• 气体置换、充填、真空隔热。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
• 分析仪器、检漏装置。
• 真空包装、真空吸附。
• 搬运、真空成形、真空铸造等。
ULVAC低温泵维修
CRYO-U系列：CRYO-U4H、CRYO-U6H、CRYO-U8H、CRYO-U8H-U、CRYO-U8HSP、CRYO-U10H、CRYO-U12H、CRYO-U12HSP、CRYO-U16、CRYO-U16P、CRYO-U20P、CRYO-U22H、CRYO-U30H
CRYO-TORR系列：CRYO-TORR8、CRYO-TORR10
ULVAC干泵维修
LR系列：LR60、LR90、LR180、LR421、LR421-T、LR300、LR600、LR1200、LR1800、LR3601、LR3601-TT、LR3601-TTR
HR系列：HR60、HR90、HR300、HR600、HR1200
UR系列：UR90、UR421-T、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT
CR系列：CR16B、CR30B、CR60B、CR300B
GR系列：GR60A、GR90A、GR180A
PDR-C系列：PDR-012、PDR-060C、PDR-090CH、PDR-090CHN、PDR-090CLN、PDR-180CN、PDR-180C
VPT系列：VPT-030、VPT-6000
YM-RL系列罗茨泵机组
组成
YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵、安装支架、接管、控制箱、消音器等组合而成，用于生产、研究设备的真空排气机组。
用途
冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
优点
• 无油、干燥、清洁。
• 在低温领域的均热化。
• 大抽速，可以缩短排气时间。
• 优良的耐腐蚀性。
• 低噪音、低震动。
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