旋片泵GLD051 GLD-N202
罗茨泵NB100B
过滤器TMN151
真空泵油R-4 R-7
真空计SW1-N1
VDN301 / VDN401 油旋片式真空泵
特长
实现了低噪音
由于彻底的低噪音设计和精密的加工，从而达到了低噪音化。
优秀的保养、维修性能
因为能在真空泵与其他设备的连接管道不拆除的情况下，将泵的主体部分取下，所以清洗保养及油封等的更换变的非常容易。为使日常保养工作方便容易，油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为延长使用油的补充期，采用了1.0～2.5升可变油量方式。
能对应全压强领域的连续运转
采用高吸气压强也能稳定运转的强制供油方式。选用油雾过滤器、油回收装置及耐热密封件后，就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
用途
• 镀膜、溅射、离子镀。
• 气体置换、充填、真空隔热。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
• 分析仪器、检漏装置。
• 真空包装、真空吸附。
• 搬运、真空成形、真空铸造等。
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体（CVD、刻蚀等）。
• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
GLD系列油旋片式真空泵
特长
GLD系列是一种高性能、高质量、高可靠性的油旋片式真空泵。为了更好地提高散热效果，GLD系列产品在散热片部分进行了创新设计，从而实现了同类产品无可比拟的高真空。它还具有油位观察大，便于确认油污染状况、低震动、低噪音等优点。
用途
冰箱、空调、饮水机自动抽空线、照明理化学实验用、分析仪器用、激光应用机器、真空排气设备、电子显微镜的泵、半导体制造设备、溅射设备、真空镀膜设备、真空干燥器。
PVD-N180(-1)/ PVD-N360(-1) 油旋片式真空泵
特长
稳定的排气特性
低噪音
装有气镇阀
通过打开气镇阀，可以将一定量的水蒸气从排气口排出，并能净化油箱内的真空泵油。
维修保养方便
结构简单，零部件数量少，复原性好，便于保养及检修，另外大油量型真空泵设有底部放油口和专门加油口，便于定期换油。
大油量型
采用大油箱后，能降低泵的油温，减少油的氧化和劣化，延长油的使用寿命。另外，对一般的真空装置来说，能降低吸入泵中的蒸气及粉尘所引起的油污染的程度，从而减少油更换的频率，降低使用成本。
用途
• 中央空调、照明、制冷。
• 冷媒灌注机、液晶注入机。
• 真空冷冻干燥、真空包装。
• 各种真空设备等相关行业。
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