真空度**高真空度
性能耐腐蚀
输送介质气体
实际价格来电面议
驱动方式电动
上海伯东普发 ,Pfeiffer 真空泵在高精度表面加工中的应用
随着科技不断发展, 对工件加工的精度要求越来越高, 比如天文观测台运用的凹透镜, 在其生产过程中需要对透镜进行打磨和抛光, 达到 150 到 30 Nm 的精度. 实现这一精度**方法是使用离子束加工透镜及其他光学元件, 离子束加工具有可以控制, 污染少, 加工应力小, 热变形小, 加工表面质量高等优点. 这种技术可对外形进行准确的修正, 从而产生**高质量的表面.
离子束加工需要真空条件
离子束加工利用具有较高能量的离子束射到材料表面时所发生的撞击效应, 溅射效应和注入效应来进行不同的加工. 由于离子束轰击材料是逐层去除原子, 所以可以达到纳米级的加工精度.
离子束加工是在真空条件下先由电子产生电子束, 再引入已抽成真空且充满惰性气体的电离室中, 使低压惰性气体离子化. 由负极引出阳离子又经加速, 集束等步骤, 获得具有一定速度的离子投射到材料表面, 产生溅射效应和注入效应. 由于离子带正电荷, 其质量比电子大数千, 数万倍. 所以离子束比电子束具有更大的撞击动能, 通过微观的机械撞击能量进行加工. 昆山熙日普发, Pfeiffer 真空泵目前广泛应用于高精度表面加工应用中.
普发 ,Pfeifer 高精度表面加工客户案例: 某国际**生产各种规模离子束加工设备厂商, 其生产的设备不仅应用于天文学, 还用于 EUV 光刻技术和传统的光学应用. 其代表设备用于加工天文大规格透镜, 真空腔室配置罗茨泵组和分子泵, 在非常短的时间内提供 10-6 hPa 真空, 加工过程不会在表面上留下任何痕迹或张力, 并且几乎可以加工任何几何形状或材料.
PFEIFFER SPLITFlow310 3p 整体310比290的长度要长!可以抽的接口面积要da! SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。 为便携式分析系统开发的小型涡轮分子泵的抽速范围介于 10 l/s 到 0.1 l/s 之间。 涡轮转子都用单独一块铝合金整体加工而成,重量xiao化, 分子泵可以在360度范围内以任意角度工作而*任何调整? SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。

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目前主要维修的品牌:法国Alcatel阿尔卡特干泵,美国Agilent安捷伦干式涡轮泵,德国Leybold莱宝干泵,日本EBARA荏原干泵,德国BUSCH普旭干泵,德国BECKER贝克干泵,美国WELCH韦尔奇干式WOB-L活塞泵,德国Pfeiffer普发干式真空泵,英国Edwards爱德华小型湿/干泵,日本ULVAC爱发科干式真空泵,美国GAST嘉士达干泵,德国Rietschle里其乐干泵,日本Orion好利旺干式真空泵,日本IWATA岩田无油涡旋式干泵,日本Kashiyama樫山干泵。
干式真空泵常见故障:
液体侵入
灰尘堆积
抽取稀有贵重气体
在极限压力下运行
不当的温度波动
温度控制
快速抽空
启动泵
PFEIFFER Adixen A124H Multi Stage Dry Process Pump
ALCATEL ADIXEN 干式真空泵 A4X 系列应用:
涂料行业:光伏和 LED
半导体:(蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
PFEIFFER干式真空泵 A4X 系列优势:
特殊设计,避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
配置氮气吹扫阀,耐粉尘
耐腐蚀设计,使用寿命长
通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
pfeiffer A124H普发真空泵维修,全国24小时服务热线:

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一、进口真空泵维修:
1、BOC EDWARDS(爱德华):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿尔卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(莱宝):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(贝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其乐):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/压缩泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/压缩泵系列等。
9、ULVAC(爱发科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油选片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(岩田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(汉钟)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652
二、进口真空泵配件销售:
1、类型:真空泵维修包、旋片、轴承、油封、过滤器、转子、轴、隔板、密封圈、定位销、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(爱德华)、ALCATEL(阿尔卡特)、LEYBOLD(莱宝)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(贝克)、RIETSCHLE(里其乐)、ULVAC(爱发科)、VIRIAN(瓦里安)等。
三、进口真空油销售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

PFEIFFER WKP2000A普发罗茨泵维修保养
罗茨泵工作原理
普发罗茨泵的工作原理相当于两个同步反向旋转的转子,在壳体中非接触旋转。泵体内结构八字形
状,且相互之间以及与转子之间由窄间隙分离开来。Pfeiffer罗茨泵WKP双齿齿轮的齿轮泵,该泵
从将气体从入口送到出口。一个轴由电机驱动,另一轴通过齿轮室中的一对齿轮同步进行。润滑仅
限于两个轴承和齿轮,它们通过具有压缩环的迷宫密封吸入打开。由于吸入室中无摩擦,罗茨真空
泵可在高转速(1500 – 3000 rpm ) 下操作。无往复运动质量还能提供无故障的动态平衡,罗茨真空
泵的运转较其安静,高转速。
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