比重0.86
用途管道泵
输送介质油泵
实际价格来电面议
性能自动
ULVAC油旋片泵维修
VD系列:VD151、VD201、VD301、VD401、VD601、VD901、VD30C、VD40C、VD60C、VD90C
VDN系列:VDN-301、VDN-401、VDN 601、VDN602、VDN902
VS系列:VS650A-A、VS650A-W、VS750A-A、VS750A-W、VS1501、VS2401
VSN系列:VSN1501、VSN2401
PVD系列:PVD-180(B)、PVD-360(B)
PKS系列:PKS-016、PKS-030、PKS-070
EC系列:EC-403、EC603、EC-803
GHD系列:GHD 030、GHD-031、GHD-100、GHD-031B
GLD系列:GLD-N201、GLD-136C、GLD-N051、GLD-136A、GLD- N280、GLD040

株式会社ULVAC以*创真空技术为基础,为先端技术应用及精细加工工艺为追求的研究开发型综合企业集团。
宁波爱发科真空技术有限公司成立于1995年,注册资本为2520万美元,是爱发科集团在中国投资的家企业。目前已成为爱发科在中国的真空泵及附属品生产基地,是集真空泵、真空测量及真空非标制品的生产、销售、售后服务一体的国家**企业。作为追求真空极限(Ultimate in Vacuum)的真空技术**,在能源、电子、光学、未来显示技术、半导体器件、环保、医药、食品、生物工程、家电、自动化生产线等领域广阔应用,推进发展各种制造与应用设备。
秉承爱发科固有的工匠精神及日本先进的技术和本地的制造优势,为中国乃至世界的制造业及科技发展做出贡献。

VDN301 / VDN401 油旋片式真空泵
特长
实现了低噪音
由于彻底的低噪音设计和精密的加工,从而达到了低噪音化。
优秀的保养、维修性能
因为能在真空泵与其他设备的连接管道不拆除的情况下,将泵的主体部分取下,所以清洗保养及油封等的更换变的非常容易。为使日常保养工作方便容易,油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为延长使用油的补充期,采用了1.0~2.5升可变油量方式。
能对应全压强领域的连续运转
采用高吸气压强也能稳定运转的强制供油方式。选用油雾过滤器、油回收装置及耐热密封件后,就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
用途
• 镀膜、溅射、离子镀。
• 气体置换、充填、真空隔热。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
• 分析仪器、检漏装置。
• 真空包装、真空吸附。
• 搬运、真空成形、真空铸造等。

NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体(CVD、刻蚀等)。
• 排出非活性气体(溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等)。
• 用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等)
• 作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵)。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
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