精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
PGE300 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼测量仪加强型 300 (PGE300) 像比它更大的 brotherP GE500 一样配备了市场上的数字对流增强型皮拉尼技术。PGE300 配备与 PGE500 相同的传感器组件,以在 100 至 1000 mbar 的测量范围中获得同样高准确度的读数。PGE300 仅提供真空行业的大多数用户追求的关键内置功能,以限度地降低成本和提率。这种坚固的仪表和传感器设计结合工厂内置的清晰读数 LED 显示屏、3 种可选模拟输出信号和设**继电器,使得 PGE300 成为所有客户的高/低拥有成本选择,而不于 OEM 客户。这些特点使该仪表适合众多需要低真空度**真空度范围的经济型真空测量功能的应用。由于测量范围更广且准确度更高(尤其是在低压条件下),同时内置价格实惠的功能,因此在替代真空系统中的热电偶仪表时,PGE300 也是的主动真空计。
Granville-Phillips Convectron真空计拥有30多年成功的现场安装经验,已成为低真空测量的行业标准。与传统的热偶规和Pirani真空计不同,Convectron真空计利用高压力时对流冷却的热损失效应·将其测量范围延伸至大气压。现今,在原有结构中增加压阻隔膜规配置强化了该模块在大气压端的性能。该传感器在大气端可提供高度可靠.精准及重复性号的差压指示从而提高了工艺效率和产能。

VD81 1600到1mbar 陶瓷薄膜传感器
应用实例
真装可以增加食物的保存时间3到5倍。包装过程是先抽真空然后再密封。
挑战
包装机器是否运转正常需要定期检测。只有当包装中的真空度足够时,食物的质量、新鲜度、营养成分、和口感才可以得到地保存。
解决方案
为了检查包装的性能,可以定期地将一个由电池驱动的VD81替代食物进行真空密封。在包装过程中,VD81存储其获得的小压力值,当它被拿出包装设备后,可以显示该小压力以便检测。
应用领域
真空设备的安装和检测
分析仪器
化工工程
作为机械和压力计的替代品
真空炉

Edwards Barocel 7000系列是目前的真空压力表产品,根据客户的需要,我们提供了更的测量和控制系统。有了环境和加热产品,可以提供的性能和可靠性。
Barocel 7000系列主要有这几款型号:7025M、7025和7045、7100。可在1000至0.1 mbar/Torr(7025M型仅支持1000至10Torr量程)的全压力范围内使用,并有多个法兰选项。这使压力测量和控制**过7个数量级,满足您系统精密测量和控制的要求。

特点
压力测量范围从10-10托到10-2托
单独校准的仪表提供10%的精度
模拟输出和RS-485通信
用于过程控制的两个设定值继电器
USB接口的设置和诊断
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤,是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时,系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中,需要准确地控制旁路中的压力,以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中,腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力,而且产品几乎不需要维护。作为选项,也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉
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