精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
MAG050 MAG060 冷阴极测量仪 - 被动
INFICON 被动冷阴极测量仪头 MAG050 和 MAG060 设计为搭配 INFICON 真空计控制器 VGC083C 使用。它们采用紧凑型金属设计，造就了适用于众多工业应用的简单而坚固的仪表。测量仪头 MAG050 采用橡胶内部密封圈，而 MAG060 测量仪头 使用金属密封圈，使压力测量处于 UHV 范围内。测量仪头组件易于拆卸和清洁，确保在长期使用中尽量减少停机时间。阳极上安装的测量仪头点火装置可缩短开启冷阴极测量仪头所需的时间。MAG050 可测量的压力低至 2 x 10-9 mbar，而 MAG060 能够测量低至 1 x 10-10 mbar 的压力。MAG050 的烘烤温度可高达 150 ℃，主要适用于不同的工业应用。MAG060 的烘烤温度可高达 250 ℃ 并能防辐射，凭借这一优势，它非常适合研发应用。
所**组均提供用于指示低真空水平的设**．并在获得定义的差压之间做出反应。RS485和DeviceNet机型提供有可选的显示器．可实现明亮的3位瞬时测量显示。
应用
ASG隔膜真空计是在需要对接近大气压的压力进行与气体无关的测量时的出色选择，十分适合于负载锁定这样的应用中。
它可用作立的传感器，便于 OEM 和系统承建商开发灵活的低成本解决方案，满足其真空设备的需求。另外，它还可以连接到 TIC 仪器控制器，与其他很多类型的传感器结合使用，提供全面的真空仪器解决方案
INFICON CDG025D电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的**纯陶瓷传感器提供的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命.特的传感器屏蔽保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高EMC兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力。
GP 390真空计的复合规管技术
以往，在宽量程范围内要进行测量需要多个传感器，多个真空系统接口，及相关电缆及电子器件。GP的Micro-lon ATM模块合并多传感器于一个微机控制设计中，减少了整体购置成本，同时提高真空测量性能。
GP将20多年成功的规管设计以及现场装机经验运用到了生产新的真空测量标准产品Micro-lon ATM模块中。宽量程、高性能，及紧凑型设计的Micro-lon ATM是您进行高真空系统压力测量的明智之选。
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要**2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程皮拉尼的之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到**高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉
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