精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
SKY® CDG200D 1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG200D 高温压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG200D 真空计温度控制在 200 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用**纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质，成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
范围广泛、符合标准的内部电源可使用 +13.5 到 +36 V 的标准直流电，对电压波动有很好的承受力
0 到 +10 V 直流电压的标准模拟输出和真空计标识符允许轻松连接计算机或 PLC 和进行故障输出指示
nAIM支持串口信号输出：RS232/RS485
电极维修套件允许用户进行清洁和维护
特的放电器设计确保即使在高真空或污染环境下也可以快速放电
宽广的压力范围
385 Convectron ATM
Edwards APG100-XM 是标准型号，可测量到10-3 mbar。APG100-XLC 是抗腐蚀型号，可测量到 10-4 mbar。nAPG是数字型真空计，支持RS232和RS485信号输出。
对流增强的皮拉尼技术可在大气压下实现宽测量范围和更高的精度
内置显示器的一体式主动式测量仪，2 个设**，4 个模拟输出信号和 2 个数字接口
带键盘的明亮的数字 OLED 显示屏，简化设置校准和操作
4 个可选的模拟输出信号（3 个用户可选，1 个默认）
出厂预设模拟输出信号或通过键盘进行选择
工厂预设的显示单位或通过键盘进行选择
用户可编程的设**继电器（工厂根据量订单的要求预设）
镀金钨丝
机械强度高、坚固耐用、不易受机械冲击和振动影响
各种法兰的选择
合规和标准：CE、RoHS
直接取代大多数 Granville-Phillips® Mini-Convectron® 模块 (GP275)
VSM 1000到5x10-9 mbar 皮拉尼/ 冷阴极
应用实例
在给激光谐振器的镜片做光学镀膜时，通常工艺过程中的压力需要**2x10-3mbar。
挑战
一个合适的真空规需要满足既能够镀膜过程中的压力又能测量真空腔体中能达到的小压力10-6mbar。
我们的一个客户曾经使用一个皮拉尼/冷阴极复合的真空规，冷阴极用来小压力和工艺过程中的真空度。但由于其频繁地在1x10-3mbar之上进行操作,导致传感器快速退化。
解决方案
在VSM真空规中一个有延展范围的皮拉尼可以让冷阴极在一个非常低的压力之下运行。此外两个传感器之间的转换可以按照应用的要求而配置。现在整个镀膜过程皮拉尼的之下，而冷阴极就可以被节省下来了，因为它只在整个系统压力达到小压力时才会被启动。镀膜的可用性因而得到显著提高。如果想要直接在测试点检查压力值，还可以用集成了LCD显示屏的VSM。
应用领域
分析仪器
镀膜设备
工艺工程
高真空到**高真空应用的控制
溅射工艺
真空炉
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