比重0.86
用途管道泵
输送介质油泵
实际价格来电面议
性能自动
ULVAC油旋片泵维修
VD系列：VD151、VD201、VD301、VD401、VD601、VD901、VD30C、VD40C、VD60C、VD90C
VDN系列：VDN-301、VDN-401、VDN 601、VDN602、VDN902
VS系列：VS650A-A、VS650A-W、VS750A-A、VS750A-W、VS1501、VS2401
VSN系列：VSN1501、VSN2401
PVD系列：PVD-180(B)、PVD-360(B)
PKS系列：PKS-016、PKS-030、PKS-070
EC系列：EC-403、EC603、EC-803
GHD系列：GHD 030、GHD-031、GHD-100、GHD-031B
GLD系列：GLD-N201、GLD-136C、GLD-N051、GLD-136A、GLD- N280、GLD040
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体（CVD、刻蚀等）。
• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
PVD-N180(-1)/ PVD-N360(-1) 油旋片式真空泵
特长
稳定的排气特性
低噪音
装有气镇阀
通过打开气镇阀，可以将一定量的水蒸气从排气口排出，并能净化油箱内的真空泵油。
维修保养方便
结构简单，零部件数量少，复原性好，便于保养及检修，另外大油量型真空泵设有底部放油口和专门加油口，便于定期换油。
大油量型
采用大油箱后，能降低泵的油温，减少油的氧化和劣化，延长油的使用寿命。另外，对一般的真空装置来说，能降低吸入泵中的蒸气及粉尘所引起的油污染的程度，从而减少油更换的频率，降低使用成本。
用途
• 中央空调、照明、制冷。
• 冷媒灌注机、液晶注入机。
• 真空冷冻干燥、真装。
• 各种真空设备等相关行业。
ULVAC涡旋泵维修
DIS/DISL系列：DIS-90、DIS-251、DIS-501、DISL-101、DISL-502
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