精度等级AA级
较大工作压力1000pa~0.1paMPa
加工定制是
适用范围1000pa~0.1pa
测量范围1000pa~0.1pakPa
PSG55x 大气压至中真空真空计
INFICON Pirani 标准真空计 PSG500、PSG502-S、PSG510-S 和 PSG512-S 采用当今市场上的数字 Pirani 技术，不锈钢传感器单元坚固耐用，结构设计紧凑，适用于半导体系统和标准应用，例如前级真空管。
AIM冷阴极真空计
Edwards AIM倒磁控管冷阴极真空计，在一个紧凑的装置中包含规头和控制器。从科学仪器到工业制程的多种应用场合，均已AIM真空计坚固可靠。标准AIM真空计具有线性输出，nAIM支持RS232和RS485信号输出，易于与计算机或 PLC 结合使用。
Edwards WRG宽量空计 系列从大气压到 10-9 mbar 的全量程压力测量，并且提供线性输出。紧凑型的设计，所需空间和连接硬件均减少了一半，这对很多应用来说是非常重要的优势。WRG 具有很多新颖的特点，包括新的**放电器、按钮校准、设**控制和全面的诊断功能。WRG 是经济的真空测量解决方案，支持模拟电压输出，nWRG支持RS232和RS485，可以与 Edwards TIC 真空计控制器一起使用也可以直接集成到系统控制中。
特点
压力范围测量宽：从大气压至10-4Torr（10-4mbar，10-2Pa）
在大气压端可进行和可重复的相对压力设定
结构紧凑、坚固耐用、抗射频和噪音模块符合CE认证
RS-485和DeviceNet机型包括一个可选的本地显示器
特点
从 5 x 10E-10mbar至大气压（3.8 x 10E-10Torr至大气压）的很宽广的测量范围
10E-8至10-2 mbar压力范围内，±5%的重复性
BCG450 10Torr以上压力测量无关气体组分
皮拉尼联锁保护Bayard-Alpert系统在高压操作下丝较过早烧毁和过度污染
长使用寿命氧化钇铱丝
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空/皮拉尼自动调节
符合 RoHS 标准
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
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