渭南探头 真空计保养

SKY® CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG160D 高温压力计是实现总压测量与控制的理想之选。CDG160D 真空计温度控制在 160 °C，具有的性能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场总线接口，能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用**纯氧化铝陶瓷隔膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质，成本效益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
特点
采用点矩阵菜单引导方式显示参数、传感器或一般设置，操作简便
显示屏明亮清晰，远距离仪表读数无障碍
设**或压力相对于时间的条形图显示
USB 端口和 USB 插口（前端）实现数据记录和参数记录
Ethernet 接口
可在线或使用 USB 进行固件升级
每个通道拥有两个可自由定义的设**，设**带可调迟滞功能
高分辨率 - 16 位 A/D 转换器

Pfeiffer Active 系列真空计

应用
高真空测量
真空系统
工业镀膜设备
一般真空测量应用

274 Bayard-Alpert（热阴极）规管的压力指示是基于气体分子电离产生的连续电流。负电子由从加热的阴极以控制良好的固定速率射出并朝着带正电的栅较（阳极）加速运动。电子进入栅较和对地连接的收集较空间内。在这个空间内电子与真空系统中的气体分子碰撞产生正离子。然后正离子被位于柱状栅较中心轴处的接地的收集较收集。在固定的灯丝对栅较的电压和电子发射电流下，压力低于10-3Torr时正离子形成率直接与分子密度（压力）相关。离子流的强度在经压力单位调校的微安计上显示出来。由于压力的指数是线性的，热阴极BA规管通常在压力低于10-3Torr时被认为进行连续的压力测量时的。
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤，是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时，系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中，需要准确地控制旁路中的压力，以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中，腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力，而且产品几乎不需要维护。作为选项，也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉
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