靖江真空计 M-350PG 德州真空规价格

BAG05x UHV Bayard Alpert 热电离被动真空计
INFICON Bayard-Alpert 被动真空计头 BAG050、BAG051、BAG052 和 BAG053 设计用于 INFICON 真空计控制器 VGC083A 和 VGC083B。氧化钇涂层铱丝适用于空气和惰性气体中的一般真空应用，例如在 N2 和氩气中。如果气体与氧化钇涂层铱丝不兼容，则为其选择钨丝。BAG05x 真空计还可使用其他制造商生产的兼容真空计控制器操作。INFICON 被动 Bayard-Alpert 电离真空计 (BAG05x) 可采用三种不同的配置：
Edwards WRH仪表采用两种测量方法(Bayard-Alpert和Pirani)在一个紧凑的模块内，满足你所有需要测量和控制的真空系统。模拟和RS485输出可通过D-SUB连接器，2个继电器和易于校准，使控制和测量非常简单。采用所包含的软件，您可以很容易地跟踪和记录真空系统的性能，并对仪表的数据进行调整，如设置设定值或更改输出比例。WRH是许多真空系统的选择，从研发机构到质谱领域，且广泛用于一般工业。

应用
适用于处于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范围内的所有需要可靠稳定的压力指示的真空应用。
典型制程包括：
一般真空到工业镀膜机
真空炉
科学仪器
半导体等各种应用。

Edwards WRG宽量空计 系列从大气压到 10-9 mbar 的全量程压力测量，并且提供线性输出。紧凑型的设计，所需空间和连接硬件均减少了一半，这对很多应用来说是非常重要的优势。WRG 具有很多新颖的特点，包括新的**放电器、按钮校准、设**控制和全面的诊断功能。WRG 是经济的真空测量解决方案，支持模拟电压输出，nWRG支持RS232和RS485，可以与 Edwards TIC 真空计控制器一起使用也可以直接集成到系统控制中。

特点
测量范围5 x 10-4至1000 mbar (3.8 x 10-4至750 Torr)
钨丝或铂丝的选项
性价比高
0至+40℃温度补偿
恒定灯丝温度
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
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