392 Micro-Ion Plus 四川真空规

Porter™ CDG020D 10 ... 1000 Torr / mbar
INFICON Porter™ CDG020D 电容式隔膜真空计是一种高质量、高成本效益、不受气体类型限制的绝压传感器。Porter 设计用于在工业环境中获得稳定的长期性能。陶瓷传感器能长期提供出色的量程稳定性，免维护运行且具有不同凡响的零位稳定性。防腐蚀单一材料传感器架构可保证出色的温度补偿。全数字电子元件和小巧的外形注定它能够灵活地用于任何集成。Porter 真空计简单可靠，始终保持可用且物有所值。
INFICON MPG500倒置磁控管真空计是所有真空测量应用明智的选择。MPG500将两个传感器系统整合在一个小装置中，测量范围从大气压至 1x10E–9毫巴。获得**的杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护，这使MPG500成为同类产品中很坚固和非常经济的真空计。MPG500冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备，使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。

应用
高真空测量
真空系统
工业镀膜设备
一般真空测量应用

特点
满量程范围从0.1乇至1000乇
通电后快速稳定性
暴露大气压的快速恢复性
抗腐蚀的陶瓷传感器
的长期信号稳定性
温度补偿
传感器有防污染保护
一键调零功能

特点
线缆连接和真空计调整可以方便地定位，因而需要很小的空间
传感器管可以加热到 150℃
设**可以调整，便于制程控制和互锁
可以进行远程校准
已获 CSA C/US 批准
线性输出 - 每十进制 1 伏特，便于与真空控制系统连接
LED 状态指示灯显示正常和故障状态
可根据需要提供非标准法兰接头。
VSC43 1400到1 mbar Piezo 压阻规
应用实例
晶元键合是半导体技术中的一个程序步骤，是将两片晶片合到一起。在某些如封装等特定应用中该操作需要在真空环境中完成。
挑战
当低真空泵通过旁路将腔体抽到预定真空度时，系统需要非常平滑地切换到高真空泵。这样键合过程就可以在高真空环境下进行了。在抽真空过程中，需要准确地控制旁路中的压力，以避免对高真空环境产生破坏。在晶元键合过程中，腔体内的真空也需要被以确保工艺要求。
解决方案
选用一款VSC43低真空规来控制旁路循环。它的陶瓷传感器可以按要求的精度测量压力，而且产品几乎不需要维护。作为选项，也可以选用VD12真空计在测量现场直接显示测量的压力。
应用领域
设备安装工程
技术
真空泵运行控制
包装机械
工程机械
化工工艺
真空炉
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